R21B 系列膜片式减压器,输出压力稳定,特别适用于气体分析仪器、各种高纯气体、非腐蚀性气体。
R21B 系列小流量减压器
结构特点Features
h 单级式减压结构
h 膜片与母体采用硬密封形式
h 母体接口螺纹: 1/4” NPT(F)
h 安全压力: 1.5 倍的最大输入压力
h 适用温度: -40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
h 泄漏率: 2 x 10-8 atm.cc/sec He
h CV 值: 0.14
h 重量: 0.9 kg (2.0 lbs)
材质Materials
h 母体:铜电镀
h 阀座: PCTFE, PTFE, Vespel®
h 膜片: 316L, Hastelloy®
适用范围Typical Applications
h 半导体制程
h 实验室
h 气相分析
h 测试仪表
h 石油化学工业
h 电厂设备



